Detailinformationen |
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SiC3N-Reinheit: | 990,9% | Farbe: | Schwarz |
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Flexibilität: | 410Mpa | Young's Modulus: | 430 GPa |
Vicker-Härte: | 28.0GPa | Poisson-Verhältnis: | 0,17 |
Bruchhärte: | 2 ̊3MPa m1/2 | Spezifische Wärme: | 0.68×103 |
Hervorheben: | Silikon-Karbid-keramischer Behälter,CVD-SiC-beschichtete Keramikplatte,Hochtemperatursinterner Keramiktray |
Produkt-Beschreibung
Siliziumkarbid-Keramikschachtel mit CVD-SiC-Beschichtung Größe anpassbar geeignet zum Sintern bei hoher Temperatur
Einführung des Keramik-Trays aus Siliziumkarbid
SiC-Ceramik-Träger aus Siliziumkarbid (SiC) mit CVD- (Chemical Vapor Deposition) SiC-Beschichtung sind spezielle Komponenten, die für Hochleistungs-Anwendungen entwickelt wurden.insbesondere in hochtemperaturartigen UmgebungenDiese Schalen nutzen die hervorragenden Eigenschaften von Siliziumcarbid, einschließlich hervorragender thermischer Stabilität, mechanischer Festigkeit und chemischer Beständigkeit.sie für anspruchsvolle industrielle Prozesse ideal machen.
Die CVD-SiC-Beschichtung verbessert die Oberflächeigenschaften der Trays und bietet eine zusätzliche Schutzschicht gegen Verschleiß, Korrosion und thermischen Schock.Diese Beschichtung verbessert nicht nur die Haltbarkeit des Trays, sondern sorgt auch für eine überlegene Leistung bei Anwendungen wie dem Sintern bei hohen Temperaturen, wo eine präzise Temperaturkontrolle und Stabilität von entscheidender Bedeutung sind.
Einer der Hauptvorteile dieser SiC-Keramik-Träger besteht in ihrer Anpassungsfähigkeit, die auf spezifische Größen und Formen zugeschnitten werden kann.für die Anfertigung verschiedener Fertigungsprozesse und AusrüstungseinrichtungenDiese Vielseitigkeit macht sie für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, darunter die Halbleiterfertigung, die Fertigung fortschrittlicher Keramik und die chemische Verarbeitung.
Insgesamt stellen Siliziumkarbid-Keramikfächer mit CVD-SiC-Beschichtung eine zuverlässige Lösung für Industriezweige dar, die in ihren Verarbeitungsumgebungen hohe Leistung, Haltbarkeit und Anpassungsfähigkeit verlangen.
Eigenschaften des Keramik-Trays aus Siliziumkarbid
Artikel | Einheit | Technische Parameter | |
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Schienen | - Ich weiß nicht. | SSiC | SiSiC |
Farbe | - Ich weiß nicht. | Schwarz | Schwarz |
Dichte | G/cm3 | 3.12 | 3.06 |
Absorption von Wasser | % | 0 | 0 |
HRA | - Ich weiß nicht. | ≥ 92 | ≥ 90 |
Modul der Elastizität | Durchschnitt | 400 | 350 |
Flexural Stärke (@R.T.) | MPa | 359 | 300 |
Kompressionsstärke (@R.T.) | MPa | ≥2200 | 2000 |
Wärmeleitfähigkeit (@R.T.) | W/Mk | 110 | 100 |
Koeffizient der thermischen Ausdehnung (20-1000°C) |
10-6/°C | 4.0 | 4.0 |
Max. Arbeitstemperatur | °C | 1500 | 1300 |
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Hohe thermische Stabilität:
Sie kann extremen Temperaturen standhalten und eignet sich für Anwendungen mit hoher Temperatur wie Sintern und Halbleiterverarbeitung. -
Mechanische Festigkeit:
Er weist eine außergewöhnliche Festigkeit und Härte auf und bietet damit Langlebigkeit und die Fähigkeit, schwere Lasten ohne Verformung oder Riss zu tragen. -
Chemische Resistenz:
Hohe Beständigkeit gegen Korrosion und chemische Angriffe, so dass sie in aggressiven Umgebungen, insbesondere in der chemischen Verarbeitung, verwendet werden können. -
Wärmeleitfähigkeit:
Erleichtert eine effiziente Wärmeverteilung und hilft bei gleichbleibender Verarbeitungstemperatur. -
Niedrige thermische Ausdehnung:
Der Koeffizient der thermischen Ausdehnung ist gering, was die Stabilität der Abmessungen gewährleistet und das Risiko von Verformungen oder Rissen unter unterschiedlichen Temperaturbedingungen verringert. -
Leichtgewicht:
Relativ leicht, sodass es leichter zu handhaben und zu transportieren ist. -
Elektrische Isolierung:
Bietet ausgezeichnete elektrische Isolierungseigenschaften, geeignet für elektronische Anwendungen, bei denen die elektrische Leitfähigkeit minimiert werden muss. -
CVD-Beschichtungsmöglichkeiten:
Häufig mit einer CVD-Beschichtung (Chemical Vapor Deposition), die die Verschleißfestigkeit erhöht und zusätzlichen Schutz vor thermischem Schock bietet. -
Anpassbarkeit:
Kann in verschiedenen Größen und Formen hergestellt werden, so dass sie individuell angepasst werden können, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen
Verwendung von Keramikplatten aus Siliziumkarbid
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Halbleiterherstellung:
Siliziumkarbid-Keramikschalen werden häufig zur Unterstützung von Siliziumwafern während verschiedener Herstellungsprozesse verwendet, einschließlich Epitaxie, Diffusion und Oxidation, um optimale Verarbeitungsbedingungen zu gewährleisten. -
mit einer Breite von mehr als 20 mm,
Diese Trays sind für die Herstellung fortschrittlicher Keramik und Materialien unerlässlich, da sie eine stabile Plattform bieten, die den extremen Temperaturen, die bei Sinterprozessen erforderlich sind, standhält. -
Chemische Verarbeitung:
Aufgrund ihrer ausgezeichneten chemischen Beständigkeit sind SiC-Keramik-Träger ideal für den Umgang mit aggressiven Chemikalien in Laboratorien und Industrieanlagen geeignet.häufig in Reaktionsbehältern und Destillationskolonnen verwendet. -
Produktion von Elektronik:
SiC-Träger dienen als Substrate bei der Herstellung elektronischer Geräte, bei denen ihre isolierenden Eigenschaften und Wärmeleitfähigkeit für die Aufrechterhaltung von Leistung und Zuverlässigkeit von entscheidender Bedeutung sind. -
Optische Anwendungen:
Bei der Herstellung optischer Komponenten werden SiC-Trays als Stützmaterialien verwendet, die eine präzise Temperaturkontrolle und Stabilität erfordern, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. -
Luft- und Raumfahrtindustrie:
SiC-Keramik-Träger werden aufgrund ihrer leichten und hochfesten Eigenschaften in der Luft- und Raumfahrt sowie in der Automobilindustrie verwendet.insbesondere bei Bauteilen, die eine thermische Steuerung und Korrosionsbeständigkeit erfordern. -
Forschung und Entwicklung:
In Forschungs- und Entwicklungsumgebungen werden diese Trays häufig für experimentelle Aufbauten mit hohen Temperaturen oder korrosiven Materialien verwendet, die eine robuste Plattform für innovative Materiale testen. -
Herstellung von Medizinprodukten:
Siliziumkarbid-Treys werden in der Herstellung von Medizinprodukten eingesetzt und bieten Sterilisationsfähigkeiten und chemische Beständigkeit in Verarbeitungsumgebungen.
Diese Anwendungen unterstreichen die Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit von Keramikplatten aus Siliziumkarbid in verschiedenen Branchen.sie zu einer unverzichtbaren Komponente in fortschrittlichen Produktions- und Verarbeitungsumgebungen machen.
Fotos von Siliziumkarbid-Keramik-Tay