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SiC Keramikgabel, speziell gefertigt Präzisionsstrukturkomponente Griff Wafer optische Komponente
Produktdetails:
| Herkunftsort: | China |
| Markenname: | ZMSH |
Zahlung und Versand AGB:
| Min Bestellmenge: | 1 |
|---|---|
| Preis: | case by case |
| Verpackung Informationen: | Schaumstoff+karton |
| Lieferzeit: | 4 Wochen |
| Zahlungsbedingungen: | T/T |
| Versorgungsmaterial-Fähigkeit: | 1pcs/month |
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Detailinformationen |
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| Hohe Härte: | Mit einer Mohs-Härte von bis zu 9,3 | Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient: | Typischerweise etwa 4,0 × 10−6 /K |
|---|---|---|---|
| Ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit: | Wärmeleitfähigkeit von 120-180 W/m·K | Niedrige Dichte: | bei etwa 3,1 g/cm3 |
| Hervorheben: | auf Wunsch gefertigte SiC Keramikgabeln,SIC-Wafer aus Keramik,SiC-keramische Präzisionsbauteile |
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Produkt-Beschreibung
SiC-keramische Gabel, präzise Strukturkomponente, Optikkomponente
Zusammenfassung vonSiC-Keramikgabeln
SiC Ceramic Fork Arm ist eine Strukturkomponente aus fortgeschrittenem Silizium
Es wird hauptsächlich in Präzisionsgeräten eingesetzt, die eine hohe Steifigkeit, einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten und eine hohe Verschleißfestigkeit erfordern.Die Form des "Gabelarms" findet sich häufig in High-End-optischen Geräten, Halbleiterverarbeitungsgeräte und automatisierte Handhabungssysteme, die als Stütze, Positionierung, Übertragung oder Spannung dienen.Siliziumkarbidkeramik bietet erhebliche Vorteile in der mechanischen Leistung, thermische Stabilität und Korrosionsbeständigkeit, und hat sich allmählich zu einem wichtigen funktionalen Bestandteil in der modernen Hochpräzisionsfertigung entwickelt.
Attribute-Tabelle vonSiC-Keramikgabeln
| Eigentum | Typischer Wert | Einheit | Anmerkungen |
| Material | Sintertes Siliziumkarbid (SSiC) | - Ich weiß. | hochreine, dichte Sorten |
| Dichte | 3.10 ¢ 3.15 | G/cm3 | |
| Härte | ≥ 2200 | HV0,5 (Vickers) | Eine der härtesten Keramikprodukte |
| Flexuralstärke | ≥ 400 | MPa | 4-Punkte-Biegungstest |
| Druckfestigkeit | ≥ 2000 | MPa | |
| Young's Modulus | 400 ¢ 450 | GPa | Ultrahohe Steifigkeit |
| Wärmeleitfähigkeit | 120 ¢ 180 | W/m·K) | Ausgezeichnet für die Wärmeableitung |
| Koeffizient der thermischen Ausdehnung | ~4,0 × 10−6 | /K (25 ‰ 1000 °C) | Sehr niedrig; ideal für die thermische Stabilität |
| Höchstbetriebstemperatur | 1400 1600 | °C | In der Luft; höher in der inerten Atmosphäre |
| Elektrische Widerstandsfähigkeit | > 1014 | Ohm·cm | mit einer Breite von nicht mehr als 15 mm |
| Chemische Resistenz | Ausgezeichnet. | - Ich weiß. | Widerstandsfähig gegen Säuren, Alkalien und Lösungsmittel |
| Oberflächenrauheit (nach Polieren) | < 0.02 | μm Ra | Optional für Kontaktflächen |
| Kompatibilität mit Reinräumen | Klasse 10 ¢ 1000 | - Ich weiß. | mit einer Breite von mehr als 20 mm, |
Konstruktion und Herstellung von SiC-Keramik-Forkarms
Strukturentwurf
SiC-Gabearme sind maßgeschneidert nach den Anforderungen der Anwendung.
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Waferbearbeitung
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Positionierung der Sondenkarte
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Unterstützung optischer Module
Zu den wichtigsten Überlegungen bei der Konstruktion gehören:
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Lastkapazität und Spannungsverteilung
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Wärmebelastungskompensation
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Präzisionsmontageoberflächen
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Kompatibilität mit Reinräumen
Verarbeitungsverfahren
Der Herstellungsprozess umfasst mehrere wichtige Schritte:
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Pulverbereitung
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Formen (Trocknerdruck, isostatische Pressen oder Gießen)
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Sintern (z. B. Drucklos sintern, Reaktionsbindung)
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Bearbeitung (Schleifen, Laserdrahen, EDM)
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Oberflächenveredelung (Polieren, Beschichtung, Lasermarkierung)
Prozessflussdiagramm für die Herstellung von SiC-Keramikkomponenten
AnwendungsszenarienvonSiC-Keramikgabeln
Halbleitergeräte
SiC-keramische Gabelräume werden häufig in Wafer-Handling-Systemen für Prozesse wie Photolithographie, Ätzen und Verpackung verwendet.
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Nicht kontaminierende Oberfläche
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Hochtemperaturbeständigkeit
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Ausgezeichnete chemische Haltbarkeit
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Kompatibilität mit Reinräumen der Klasse 101000
Verwendet bei:
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EFEM- und FOUP-Ladestellen
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6", 8" und 12" Wafertransport
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Vakuum-Pick-and-Place-Systeme
Optische Systeme und Teleskope
Bei hochpräzisen optischen Instrumenten bieten SiC-Gabearme:
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Starrer Träger für Spiegel und Linsen
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Stabile Ausrichtung bei thermischen Schwankungen
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Leichte Strukturen für die dynamische Positionierung
Sie werden häufig verwendet:
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mit einer Leistung von mehr als 50 W
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Weltraumteleskope
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Laserscanner
Luft- und RaumfahrtvonSiC-Keramikgabeln
In Luft- und Raumfahrtsystemen werden SiC-Fork-Arme für
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Leichtgewicht und Steifheit unter Vibrationen
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Widerstandsfähigkeit gegen Strahlung und Wärmeschock
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Strukturelle Stabilität bei niedrigen Erdumlaufbahnen
Typische Rollen sind Nutzlaststützen, Gimbalverbindungen und optische Halterungen.
Robotik und Automatisierungssysteme
In Reinraum-Automatisierungsumgebungen werden SiC-Fork-Arme als End-Effektor oder Greifer verwendet, die Folgendes bieten:
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nicht leitfähige, nicht partikelbildende Oberflächen
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Lange Lebensdauer in abrasiven oder ätzenden Umgebungen
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Widerstand gegen Abgasung in Vakuumkammern
Anpassung und technischer Support
Als nicht-standardmäßige Präzisionskomponente werden SiC-Keramikgabelarme typischerweise anhand der Anforderungen des Benutzers angepasst.
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Gesamtmaße (Länge, Breite, Dicke)
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Größe und Winkel der Öffnung
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Oberflächenveredelung und Rauheit
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mit einer Breite von nicht mehr als 15 mm
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Waferkompatibilität (6", 8", 12")
Wir unterstützen Full-Cycle-Dienstleistungen, einschließlich Zeichnungsüberprüfung, FEM-Simulation für mechanisches Verhalten und Prototypenverifizierung, um Leistung und Kompatibilität zu gewährleisten.
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