Keramikschale aus Siliziumkarbid (SiC) für die Hochtemperaturverarbeitung

Überblick

Keramikschalen aus Siliziumkarbid (SiC) sind Hochleistungsträger, die für anspruchsvolle thermische, chemische und mechanische Umgebungen entwickelt wurden. Aufgrund ihrer außergewöhnlichen Härte, Temperaturwechselbeständigkeit und Stabilität bei erhöhten Temperaturen sind SiC-Schalen zu einer bevorzugten Lösung für die Halbleiterverarbeitung, die LED-Herstellung, das Sintern moderner Materialien und hochreine thermische Anwendungen geworden. Ihre Langlebigkeit und geringe Verschmutzung sorgen für eine gleichbleibende Prozesssicherheit und lange Lebensdauer.

Materialeigenschaften

Siliziumkarbidkeramik bietet eine Kombination aus physikalischen und chemischen Festigkeiten, die herkömmliche Aluminiumoxid- und Quarzschalen übertreffen:

• Hohe Temperaturbeständigkeit:Stabile Leistung über 1600–1700 °C, geeignet für Hochtemperaturöfen.

• Ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit:Schnelle Aufheiz- und Abkühlzyklen ohne Rissbildung.

• Hohe Härte und Verschleißfestigkeit:Verlängert die Lebensdauer bei mechanischer Belastung.

• Geringe Wärmeausdehnung (CTE):Gewährleistet Dimensionsstabilität bei Temperaturwechsel.

• Hohe Wärmeleitfähigkeit:Fördert eine gleichmäßige Wärmeverteilung und verbessert die Sinterkonsistenz.

• Korrosions- und Oxidationsbeständig:Reduziert das Kontaminationsrisiko erheblich.

• Geringe Ausgasung:Geeignet für ultrareine Prozesse.

Herstellungsprozess

SiC-Keramikschalen werden typischerweise durch hergestelltdruckloses Sintern,Reaktionsbindung (RBSiC), oderchemische Gasphasenabscheidung (CVD-SiC)je nach Reinheits- und Leistungsanforderungen:

• RBSiC (reaktionsgebundenes SiC):Hohe Festigkeit, hervorragende Thermoschockeigenschaften, kostengünstig.

• SSiC (gesintertes SiC):Höhere Reinheit, höhere Dichte, bessere chemische Stabilität, ideal für Halbleiter.

• CVD-SiC-Beschichtung:Bietet extrem reine, porenfreie und korrosionsbeständige Oberflächen für fortschrittliche Waferprozesse.

Jeder Produktionsweg gewährleistet hohe Gleichmäßigkeit, präzise Maßkontrolle und anpassbare Geometrie.

Schlüsselanwendungen

SiC-Keramikschalen werden in zahlreichen Branchen eingesetzt:

Halbleiter und Mikroelektronik

• Wafer-Beladung, Hochtemperaturverarbeitung, LPCVD/PECVD-Unterstützung

• Diffusion, Oxidation, schnelle thermische Prozesse

• Transport- und Trägerplattformen für hochreine Materialien

LED- und optoelektronische Fertigung

• Sintern und Glühen von Saphir-, GaN- und SiC-Wafern

• Unterstützung bei Epitaxie und Hochtemperatur-Wärmebehandlung

Pulvermetallurgie und Sintern

• Keramik, magnetische Materialien und Metallpulversintern

• Hochtemperatur-Ofenträger und Separatoren

Lithiumbatterie und fortschrittliche Materialien

• Pulverkalzinierung, Phosphatierung, Hochtemperaturbeschichtung

• Stützvorrichtungen für fortschrittliche Energiematerialien

Allgemeine Industrieöfen

• Hochtemperaturbacken, Wärmebehandlung, Temperaturwechsel

Vorteile von SiC-Keramikschalen

Im Vergleich zu herkömmlichen Tabletts aus Graphit, Aluminiumoxid oder Metall bieten SiC-Keramiktabletts erhebliche Vorteile:

• Längere Lebensdauerin wiederholten Hochtemperaturzyklen

• Geringere Kontamination, um eine stabile Prozessqualität zu gewährleisten

• Höhere mechanische Festigkeitum Verformungen zu widerstehen

• Gleichmäßige Wärmeleitungfür eine verbesserte Produktkonsistenz

• Anpassbares Design, einschließlich Schlitze, Löcher, Nuten und komplexe Geometrien

• Kompatibel mit Reinraum- und Vakuumumgebungen

Verfügbare Spezifikationen

Wir bieten Standard- und kundenspezifische Tabletts an, darunter:

• Flache Tabletts, poröse Schalen, Gitterschalen

• Abmessungen:Zu den gängigen Größen gehören 100–500 mm; anpassbar

• Dicke:3–20 mm oder nach Kundenwunsch

• Materialoptionen:RBSiC, SSiC, CVD-SiC

• Oberflächenveredelung:Polieren, CVD-Beschichten, Anfasen, Laserbeschriften

Kundenspezifische OEM/ODM-Dienste werden für spezielle Ofenmodelle, automatisierte Systeme oder bestimmte Produktionslinien unterstützt.

FAQ

F1: Was ist der Unterschied zwischen RBSiC- und SSiC-Trays?

RBSiC bietet eine hervorragende mechanische Festigkeit bei geringeren Kosten, während SSiC eine höhere Reinheit und bessere Korrosionsbeständigkeit bietet und sich ideal für Halbleiterumgebungen eignet.

F2: Können SiC-Trays schnellen Temperaturwechseln standhalten?

Ja. SiC verfügt über eine hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit und eignet sich daher für schnelle Aufheiz- und Abkühlprozesse.

F3: Kann die Form des Tabletts individuell angepasst werden?

Absolut. Wir können Tabletts mit komplexen Geometrien herstellen, einschließlich Rillen, Löchern, Rändern und mehrschichtigen Strukturen.

F4: Verunreinigt SiC Produkte während des Hochtemperaturbetriebs?

Nein. SiC ist chemisch stabil, oxidationsbeständig und weist eine geringe Ausgasung auf, was eine geringe Kontamination gewährleistet.

F5: Erfordern SiC-Tabletts eine bestimmte Reinigungsmethode?

Die Reinigung hängt von der Materialqualität ab: SSiC und CVD-SiC ermöglichen eine Säure-/Base-Reinigung; RBSiC erfordert mildere Methoden, um Oberflächenveränderungen zu vermeiden.

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Über uns

ZMSH ist auf die High-Tech-Entwicklung, Produktion und den Vertrieb spezieller optischer Gläser und neuer Kristallmaterialien spezialisiert. Unsere Produkte dienen der optischen Elektronik, der Unterhaltungselektronik und dem Militär. Wir bieten optische Komponenten aus Saphir, Linsenabdeckungen für Mobiltelefone, Keramik, LT, Siliziumkarbid SIC, Quarz und Halbleiterkristallwafer. Mit qualifiziertem Fachwissen und modernster Ausrüstung zeichnen wir uns durch die Verarbeitung nicht standardmäßiger Produkte aus und streben danach, ein führendes High-Tech-Unternehmen für optoelektronische Materialien zu sein.