6 Wafer-Schwarzes des Zoll-LiTaO3 LiNbO3 polarisiert für SÄGE/BAW 128 Grad Y Z-geschnitten
Produktdetails:
Herkunftsort: | China |
Markenname: | ZMKJ |
Zertifizierung: | ROHS |
Modellnummer: | JZ-4INCH-LNOI |
Zahlung und Versand AGB:
Min Bestellmenge: | 2pcs |
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Preis: | by case |
Verpackung Informationen: | einzelner Oblatenbehälter im Reinigungsraum |
Lieferzeit: | 4 Wochen |
Zahlungsbedingungen: | T/T, Western Union, Paypal |
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: | 10PCS/Month |
Detailinformationen |
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Material: | Schicht LiNbO3 auf Silikonsubstrat | Schicht-Stärke: | 300-1000nm |
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Orientierung: | X-CUT | Anwendung 2: | Geräte 5G saw/BAW |
Ra: | 0.5nm | Isolierungs-Schicht: | Sio2 |
Substrat: | 525um | Größe: | 4inch 6inch 8inch |
Hervorheben: | 6 Wafer des Zoll-LiNbO3,Oblate BAW LiNbO3,Z-geschnittene Oblate LiTaO3 |
Produkt-Beschreibung
6 Wafer-Schwarzes des Zoll-LiTaO3 LiNbO3 polarisiert für SÄGE/BAW Anwendungen 128 Grad Y Z-geschnitten
Einzelner Kristall des Lithium-Niobates (LiNbO3) ist ein ferroelectric Kristall mit hohem elektromechanischem Kopplungskoeffizienten und niedrigem Ausbreitungsverlust, die verwendet werden können, um SÄGE-Geräte mit bis 50% Bandbreite zu fabrizieren. Die akustischen Oberflächenwelleneigenschaften von Lithium-Niobat-einzelnen Kristallmaterialien sind zu ihrer Orientierungs- und Ausbreitungsrichtung eng verwandt. Anordnungsgemäß verschiedene Schneidewinkel und Ausbreitung ist die Sägeausbreitungsgeschwindigkeit 3400~4000m/s, ist der elektromechanische Kopplungskoeffizient 0%~5.6%, und der Temperaturkoeffizient ist -1.1~-95.6 (10^-6/℃).
Lithium Tantalate (LiTaO3) hat die piezoelektrischen, elektrooptischen und nichtlinearen optischen Eigenschaften und eine breite Transparenzstrecke, die von ultraviolettes zu Infrarot geht. Es ist wünschenswert, dass Oblate LiTaO3 eine glatte Oberfläche, zwecks mit guter Qualität zu arbeiten war. Das chemisches mechanisches Polieren (CMP) ist verwendet worden, um integrierte Schaltungen (IC) planarize oder eine hohe Oberflächenbeschaffenheit der Substrate zu erreichen. Dieses Papier forscht den Effekt der Zitronensäure als Zusatz im Schlamm für CMP LiTaO3 nach. Die Rauheit der Oblaten wurde gemessen durch eine Atomkraftmikroskopie (AFM, XE-100) nachdem man poliert hatte. Der Schlamm, der Zitronensäure als Zusatz enthält, hat eine höhere Materialabbauraten- und -reibungskraft als ein Schlamm ohne einen Zusatz. Nachdem man poliert hat kann die Oberflächenrauigkeit der Oblate LiTaO3 auf 1.7A von Ra unten verringert werden.
Charakteristische Spezifikation
Crystal Sturucture | Trigonal, Raumgruppe R3c, Punktgruppe 3m |
Schmelzpunkt | 1253℃ |
Mohs-Härte | 5 |
Dichte (g/cm3) | 4,64 |
Zerfließen | Kein |
Optische Homogenität | ~5x10-5/cm |
Transparenz-Strecke | 420-5200nm |
Absorptions-Koeffizient | ~0.1%/cm @1064nm |
Brechungskoeffizienten | ne=2.146, no= 2.220@1300nm |
Thermische Expansions-Koeffizienten (an 25℃) | //a, 2.0x10-6/K |
Wärmeleitfähigkeits-Koeffizienten | 38 W/m/K an 25℃ |
Thermische optische Koeffizienten | dno/dT=-0.874 x 10-6/K bei 1.4μm |
Die Sellmeier-Gleichungen | no2=4.9048+0.11768/(λ2-0.04750) - 0.027169λ2 |
Material | 3" 4" 6" LT-Oblate sahen,/optische Grad | ||
Orientierung | X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ oder besonders angefertigt | ||
Curie Temp | 605°C±3°C | ||
Lackiert mit | F.E. | ||
Einzelnes Gebiet | Abgeschlossene Polarisation/verringert | ||
Orientierung | 36°Y, 42°Y, X-112°Y, Y, Z | ||
Durchmesser | 76.2±0.2mm | 100±0.2mm | 150±0.2mm |
Primärebene | 22±1mm | 32±1mm | 47.5mm, 57.5mm, kerben ein |
Stärke | 0.07mm~1.0mm | 0.1mm~1.0mm | 0.35mm~1.0mm |
Oberflächenende | Einzelne/doppelte Seitenpolitur/doppelte Seite hüllten ein | ||
TTV | < 1=""> | ||
BOGEN | ± (20µm ~40um) | ||
Verzerrung | <> | ||
LTV (5mmx5mm) | <1> | ||
PLTV (<0> | ≥98% (5mm*5mm) mit 2mm Rand ausgeschlossen | ||
Polierseitenra | Rauheits-Ra<> | ||
Rückseite-Kriterien | Rauheits-Ra: 0.5-1.0µm, GC#1000 | ||
Kratzer u. Grabung (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 | ||
Rand-Profil | Compl't mit HALB M1.2@with GC800# .regular an C schrieb | ||
Sprünge, Sägekennzeichen, Flecke | Kein |
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