Hauptmerkmale:

Technische Daten:

Anwendungen:

Dieses Röntgenorientierungssystem ist ideal für den Einsatz in der Halbleiterkristallherstellung, einschließlich Silizium, Saphir und Verbundwerkstoffen, bei denen eine präzise kristallographische Ausrichtung vor dem Wafer-Schneiden oder der Oberflächenbearbeitung erforderlich ist. Es unterstützt auch Forschung und Entwicklung in der Materialwissenschaft und Kristalltechnik.

Fragen & Antworten – Häufig gestellte Fragen

F1: Welche Arten von Kristallen sind mit diesem Röntgenorientierungsinstrument kompatibel?
A1: Das Instrument ist mit einer Vielzahl von Einkristallmaterialien wie Silizium, Saphir, SiC (Siliziumkarbid), GaN und anderen Halbleitern kompatibel. Es unterstützt Stabdurchmesser von 2, 4 und 6 Zoll.

F3: Wie wird das Instrument kalibriert?
A3: Die Kalibrierung erfolgt mit einem zertifizierten Standard-Kristallstab. Dies gewährleistet die Winkelgenauigkeit und Wiederholbarkeit des Systems vor der Verarbeitung von Produktionsmustern.

F4: Ist der Messvorgang automatisch oder manuell?
A4: Das System kombiniert manuelle Platzierung und Einstellung mit automatisierten Funktionen, einschließlich automatischer Verschlusssteuerung und vertikalem Heben, um den Betrieb zu vereinfachen und die Effizienz zu verbessern.

F5: Welche Sicherheitsmaßnahmen sind im Umgang mit Röntgenstrahlung enthalten?
A5: Das Instrument verwendet eine Röntgenröhre mit geringer Leistung und enthält Abschirmmaßnahmen, um die Exposition zu minimieren. Benutzer sollten das Gerät immer unter Einhaltung der Standard-Strahlungssicherheitsprotokolle betreiben und die empfohlene Stromgrenze von 2,0 mA nicht überschreiten.

F6: Welche Wartung ist für den langfristigen Einsatz erforderlich?
A6: Die regelmäßige Reinigung der Vorrichtung und der Plattform ist unerlässlich. Eine regelmäßige Inspektion der Röntgenröhre, der Detektoren und der elektrischen Anschlüsse wird ebenfalls empfohlen. Die Lebensdauer der Röntgenröhre kann verlängert werden, indem innerhalb des sicheren Strombereichs gearbeitet wird.

F7: Kann das Instrument in einer Reinraumumgebung verwendet werden?
A7: Ja, das kompakte Design und die geschlossene Struktur machen es für Reinraumanwendungen geeignet, sofern eine ordnungsgemäße Handhabung und Wartung beachtet werden.

F8: Ist eine Anpassung für verschiedene Kristallgrößen oder -orientierungen möglich?
A8: Ja, das System kann auf Anfrage angepasst werden, um verschiedene Kristallgrößen, spezielle Vorrichtungsdesigns oder nicht standardmäßige Orientierungswinkel zu unterstützen.

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