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Detailinformationen |
Produkt-Beschreibung
Einführung der SiC-Trägerplatte
Die SiC-Trägerplatte ist ein Präzisionsunterlage aus hochreinem Siliziumkarbid, die eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit, hohe Härte, mechanische Festigkeit,und hervorragende Beständigkeit gegen chemische Korrosion. Mit einer präzise bearbeiteten und polierten Oberfläche werden SiC-Trägerplatten in der Waferverarbeitung, der MOCVD-Epitaxie, der Hochtemperaturbrennung und anderen anspruchsvollen Anwendungen weit verbreitet.Im Vergleich zu traditionellen Materialien wie Quarz oder AlN, SiC bietet eine überlegene thermische Stabilität und eine längere Lebensdauer.
Arbeitsprinzipaus SiC-Trägerplatten
In Hochtemperaturprozessen dient die SiC-Trägerplatte als Träger für Wafer- oder Dünnschichtmaterialien.Verbesserung der Prozessstabilität und -einheitlichkeitAußerdem bewahrt die Platte aufgrund ihrer Härte und chemischen Trägheit auch in korrosiven Umgebungen ihre Strukturintegrität und gewährleistet so die Reinheit des Produkts und die Sicherheit der Ausrüstung.
Typische Anwendungenaus SiC-Trägerplatten
- Substratunterstützung bei der MOCVD-Epitaxie
- Thermische Verarbeitung von Breitbandhalbleitern wie SiC und GaN
- Brenn-, Sinter- und Diffusionsverfahren für Wafer
- Wärmeverbreiter und -träger bei der Herstellung von LED-Chips
- Materialtransport und -unterstützung in starkem Vakuum oder korrosiver Umgebung
Fragen und Antwortenaus SiC-Trägerplatten
F1: Wie ist die maximale Betriebstemperatur von SiC-Trägerplatten?
A: SiC-Platten können je nach Verarbeitungsumfeld und -dauer typischerweise Temperaturen von bis zu 1600 °C oder höher standhalten.
F2: Wie verglichen sich SiC mit AlN oder Quarzträgern?
A: SiC bietet eine höhere Wärmeleitfähigkeit, eine überlegene Wärmeschlagfestigkeit und eine längere Lebensdauer, was es ideal für harte und wiederholte Anwendungen macht.
Q3: Können Größe und Form angepasst werden?
A: Ja, wir bieten maßgeschneiderte Größen, Dicken, Lochmuster und Oberflächenveredelungen an, die Ihren spezifischen Anforderungen an die Ausrüstung und den Prozess entsprechen.
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